1、机外壳采用不锈钢SUS304材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。

2、钢化箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。

3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。

4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。

5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。

6、整个系统采用材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。